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Germanium Surface Preparation Methods

  [Printed On Demand]    
지은이 Jungyup Kim   |   출판사 VDM Verlag  |   발행일 2008년 10월 01일   |   언어 : English
 
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판매가 89,600원78,850원 12%
마일리지 1% 900원
발행일 2008-10-01 | 중량: 0.15 kg | 사이즈: 15.2*22.9*0.6 cm
ISBN 3836484110 |  9783836484114
기타정보 원서 | 104쪽 | $ 64 | Paperback
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    Germanium is gaining interest in the semiconductor industry as a replacement channel material for high mobility applications. Contamination directly affects the device performance, yield and reliability. Therefore, continued device scaling is dependent on effective surface preparation including effective contamination and particle removal of germanium surface. Cleaning and preparation methods for silicon surface have been extensively developed over the past few decades. Germanium surface cleaning and preparation is at its infancy and is markedly different from that of silicon. This book examines these differences and fundamentals involved in germanium surface cleaning. This book also proposes methods for basic germanium surface cleaning and the basis for further process development for professionals involved in surface cleaning of semiconductor materials.
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